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im电竞官方网站(中国)股份有限公司单一来源采购微环境系统征求意见公示

来源: 发布时间:2021-12-10【字体:
 

采购人:im电竞官方网站(中国)股份有限公司

住所:上海市嘉定区清河路390

一、     采购项目名称:微环境系统

二、     资金来源及采购预算:财政性资金,已落实。

三、     拟采购的货物项目背景

拟采购的微环境系统,用于激光直写系统外部环境精密控制,保障工件台和光刻机正常工作。

四、     采用单一来源采购方式的原因及相关说明

北京华卓精科科技股份有限公司(下称“华卓精科”)长期从事集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化,具备工件台及光刻系统配套微环境系统的研制能力。目前我所与华卓精科已经形成了技术开发服务和供货关系,开展工件台研发。本次合同申请的微环境系统技术指标如下:1)微环境与直写光刻机主机在空间上无干涉,相对独立;2)全局气浴温度:<=±30mK@8h3)局部气浴温度:<=±10mK@8h4)微环境内的洁净度:优于ISO class 5(国标百级);5)视频监控:全局监控+运动部分监控;6)全局湿度与稳定性:<=35±5%@24h7)满足华卓精科为我所配套工件台(销售合同编号KS21-0230)其他使用条件的要求。

经项目组前期充分调研,华卓精科是国内唯一满足项目指标需求的工件台供应商,由于前期已完成华卓精科工件台的采购,在同一家采购配套的微环境系统才能保证系统的完整性和配套性,并且该公司从技术、人员、周期等各方面都能够满足相关要求。

因此,为保证科研工作及时开展、确保项目顺利进行,根据专家意见,拟采购的微环境系统通过单一来源方式进行采购。

供应商名称:北京华卓精科科技股份有限公司

供应商地址:北京市北京经济技术开发区科创十街19号院

五、     公示意见期限从2021121020211216

潜在政府采购供应商对公示内容有异议的,请于公示期限内以实名书面(包括联系人、地址、联系电话)形式将意见反馈至im电竞官方网站(中国)股份有限公司政府采购信箱(zfcg@siom.ac.cn)。

六、     采购人联系方式

地址:上海市嘉定区清河路390

联系人:戴君

联系电话:021-69918871

E-mail: zfcg@siom.ac.cn


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